监理单位向施工方要求支付费用应遵循以下步骤和原则：

合同依据

监理单位与施工方之间的费用支付应基于双方签订的《监理合同》及相关协议。

合同中应明确规定双方的权利和义务，包括监理服务的范围、费用计算方式、支付条款等。

服务完成

监理单位需按照《监理规划》和法律法规规范，严格监督管理施工单位的工程项目，确保其符合设计图纸和规范要求。

费用计算

监理费的计算应依据合同条款，可以是固定费用、按时计费等。

若因业主方原因导致监理工作受影响，监理单位可根据实际损失提出索赔。

支付程序

施工单位在履行合同及支付报酬时应出具收据或发票。

支付过程应透明，遵循相关法律法规，确保交易的合法性和正当性。

索赔程序

如遇到业主方未按约定支付监理费用或其他违约行为，监理单位可提出索赔。

索赔时需提交相关证据，如合同、工作记录、书面通知等，并通过协商、调解或法律途径解决争议。

诚信原则

监理单位和施工方都应遵守诚信原则，确保收费行为的透明度和公正性。

请确保在实际操作中遵循以上步骤和原则，以合法合规的方式处理费用支付问题。